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IBM e o Imago encontram uma dificuldade crucial na escamação do dispositivo de semicondutor

Em 1959, o ganhador do prémio Richard que de Nobel Feynman apresentou uma conversa intitulada “lá é abundância do quarto na parte inferior. “Feynman concluiu que não havia nenhuma razão física pela qual os seres humanos não poderiam manipular átomos. Entretanto, se a manipulação atômica é conseguida a pergunta de observar as posições novas do átomo permanece. Como você sabe o que você fêz”

Como relatado na introdução Sept. do 7, 2007 da ciência, IBM e o Imago tomaram uma etapa seminal ao longo do trajeto a conseguir a visão do Dr. Feynman observando, pela primeira vez, distribuições de átomos individuais do entorpecente em dispositivos de semicondutor. O tomography da ponta de prova do átomo foi usado para determinar a posição e a identidade elementar dos átomos proximate aos defeitos no silicone. Os entorpecentes foram implantados no silicone uniformemente e esperou-se sempre que a distribuição de átomos do entorpecente seria uniforme. Entretanto, IBM e os investigadores do Imago encontraram que os conjuntos (mais corretamente atmosferas de Cottrell) de átomos do entorpecente dão forma em torno dos defeitos após a implantação e o recozimento de íon. Além disso, estas atmosferas persistem em laços circunvizinhos da deslocação mesmo depois o tratamento térmico considerável que cria as flutuações do entorpecente que podem finalmente limitar a escalabilidade de dispositivos de semicondutor.

“Isto é a primeira vez que a informação 3D quantitativa inequívoca a respeito da posição precisa de átomos que individuais do entorpecente os defeitos relativos a estiveram disponíveis” disse o co-autor do estudo e o CEO Tom Kelly do Imago.

“A habilidade do laser do PULO 3000X Si do Imago ajudou à ponta de prova do átomo a fazer esta medida é a fruição de muitos anos de instrumentação e de desenvolvimento de aplicações. Nós temos agora uma maneira nova poderosa de sondar as posições atômicas dos entorpecentes em um dispositivo de semicondutor.

Esta é uma ferramenta crítica para os cientistas que procuram responder ao desafio do professor Feynman para manipular a matéria a nível atômico e daqui para permitir a nanotecnologia.”

Previamente, os investigadores usaram a espetrometria maciça de íon secundária (SIMS) e a microscopia de elétron de transmissão (TEM) para correlacionar indiretamente a presença de átomos do entorpecente com a evolução dos defeitos, e os modelos detalhados foram propor esclarecer estas correlações experimentais.

Entretanto, o estudo da ponta de prova do átomo publicou em relatórios de ciência, pela primeira vez, a posição de átomos individuais do entorpecente. O diretor sênior do Imago dito das aplicações e o co-autor David Larson, “o artigo da ciência Sept. do 7 são os mais recentes em uma série de avanços científicos significativos relatados por clientes de Imago.” O Dr. adicionado Larson, “além do que a produção da descoberta publicou resultados científicos, a ponta de prova do átomo do Imago está sendo aplicado igualmente aos vários problemas industriais.

Estes resultados proprietários estão avançando o conhecimento científico, estão permitindo o desenvolvimento de produtos novos, e estão melhorando a hora ao mercado para nossos clientes.”

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